扫描电镜分辨率6nm够用。普通扫描电镜的颗粒分辨率一般在6nm左右，场发射扫描电镜的分辨率可以达到。扫描电子显微镜（SEM）是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品，通过光束与物质间的相互作用，来激发各种物理信息，对这些信息收集、放大再成像，以达到对物质微观形貌表征的目的。扫描电子显微镜在岩土、石墨、陶瓷以及纳米材料等的研究上有广泛应用，因此扫描电子显微镜在科学研究领域具有重大作用。
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